产品特点：
业界唯一配置有中间镜（iml）设计的扫描电子显微镜
中间镜设计使得史无前例的成像模式出现在用户眼前，如tescan久负盛名的超大视野，超大的景深观察，倾斜电子束和实时3维立体图像功能。
专利的大视野光路设计
用户直接用实时的电镜图像进行导航，从而拥有业界最快的找样速度。
加强景深显示模式
专门用于观察高低落差大的样品，如金属断口，失效分析等。
专利的实时电子束追踪系统
用户先确定最重要的参数，由系统主动调整其他参数来适应它，达到实时最优化束流。
3d beam（三维电子束扫描技术）
通过倾斜电子束的方式（样品台不倾斜），从不同角度扫描样品，用户可以拍摄和实时观察样品的立体图像，特别适合于材料断口和生物样本的观察。
独特的（中间镜+固定光阑）筒镜设计，完美取代老式的移动光阑设计
筒镜参数设置和对中完全由计算机自动完成，从根源上消除了任何由用户手动调整引起的电子束对中误差，同时光阑孔径多级可变，给用户功能强大的“软件光阑”。
所有的探头标配yag（钇铝石榴石）材料的闪烁体
信噪比高，反应迅速，不会老化，无需更换。
图像最大的存储像素高达8192﹡8192
方便用户仅通过一次扫描即可获得最大面积的高倍图像
技术参数：
 分辨率
 高真空(二次电子)
 低真空(背散射电子)
    (低真空二次电子)
1.0nm(30kv),1.2nm(15kv),2.0nm(3kv)
 2.0nm(30kv) 
 1.5nm(30kv), 3nm(3kv)
工作真空
 高真空模式
 低真空模式
 枪体真空
<5×10-4pa
  3-500pa
  <3×10-7pa
电子光学工作模式
分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
放大倍率
2×-1000000×连续可调
加速电压
200v至30kv
电子枪
高亮度肖特基
探针电流
2pa至200na
扫描速度
从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调
聚焦窗口
大小和位置连续可调
扫描特性
动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像
图象尺寸
最大可达8192×8192象素，图像比例可选1：1、4：3或2：1
显微镜控制
能过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作mira tc软件，所以显微镜的功能均可 在windowstm平台下实现。
自动程序
独有的实时电子束追踪(in-flight beam tracingtm)技术可持续调节探针电流和束斑直径，真空控制，电子枪合轴，光阑&透镜对中，加速电压改变的补偿，最优化束斑大小和探针电流，最优化放大倍率和束斑大小，扫描速度，高度和对比度，聚焦和消像散，灰度等级调整。
远程控制
tcp/ip
样品室
内部尺寸
300mm 宽 × 330mm 深
门宽
280mm 宽 × 310mm 深
接口数量
12+
样品室减振方式
内置气垫（可选配内置主动式电磁减振）
样品载台
类型
全电脑化优中心
移动范围
全马达驱动控制方式:
x=130mm－－马达驱动
y=130mm－－马达驱动
z=100mm－－马达驱动
旋转:360°连续可调－－马达驱动
倾斜:-30°到+90°－－马达驱动
样品高度
最大145mm
​
结构图
热发射电子枪                                                            场发射电子枪
北京亚科晨旭科技有限公司
地址：北京市朝阳区酒仙桥路甲12号电子城科技大厦14层1408室
葛经理 市场部
电话：010-84799262-809
传真：010-84799265
网址：

---

北京亚科晨旭科技有限公司

18101068375
中国 北京